
国家知识产权局信息显示,和舰芯片制造(苏州)股份有限公司申请一项名为=“一种集成薄膜电阻及其制备方法◆=△”的专利◁■,公开号CN121419554A,申请日期为2024年7月。
专利摘要显示,本发明公开了一种集成薄膜电阻及其制备方法,制备方法包括以下步骤•▽◇:S1、对前层工艺中的金属间电介质平坦化后形成氧化层▷;S2、在氧化层上方进行第一次SiON沉积后形成隔绝层▲▪;S3-○、在隔绝层上方依次进行铬硅和TiN沉积•▽,分别形成铬硅层和窗口层后回火;S4、在窗口层上方进行第二次SiON沉积;S5、对铬硅薄膜电阻进行宽定义、长定义☆▲▼、集成电路接触孔定义和集成电路引线定义,得到铬硅薄膜电阻○▲。本发明在现有制作方法的基础上对薄膜电阻进行改善…◇,通过该反应制程生成的集成薄膜电阻可以精确控制电阻值•▪▽,并且相较于扩散电阻和注入电阻具有更低温度系数。
天眼查资料显示,和舰芯片制造(苏州)股份有限公司▲★◁,成立于2001年,位于苏州市-■◁,是一家以从事计算机、通信和其他电子设备制造业为主的企业。企业注册资本314524•◆▷.57万人民币。通过天眼查大数据分析,和舰芯片制造(苏州)股份有限公司共对外投资了1家企业…=▪,参与招投标项目20次,财产线条,此外企业还拥有行政许可29个。
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